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鈣鈦礦電池設(shè)備解決方案

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PVD設(shè)備

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目

規(guī)格

基板尺寸

450mm*650mm

厚度均勻性

±5%（邊緣8mm之內(nèi)部）

設(shè)備尺寸

6800mm*3200mm*2100mm

產(chǎn)品圖片

                   上下料腔Δ          預(yù)熱腔Δ               緩沖腔Δ       PVD空穴層鍍膜腔Δ        PVD ITO鍍膜腔Δ           緩沖腔Δ 

 
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